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DEPOSITION OF MATERIALS USING A SIMPLE PLANAR COIL RADIO FREQUENCY INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SYSTEM

来源 :International Meeting on Frontiers of Physics 2009(第三届国际物理前沿 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cumtzhanglei

【作 者】

：

K.H.Ng C.S.Wong S.L.Yap S.N Gan 

【机 构】

：

Plasma Research Laboratory, Department of Physics, Faculty of Science, University of Malaya, 50603,

【出 处】

：

International Meeting on Frontiers of Physics 2009(第三届国际物理前沿

【发表日期】

：

2009年4期

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