预处理气氛对电子束蒸发制备YBCO薄膜性能和结构的影响

来源 :第十二届全国物理力学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ltt3221340

【摘要】

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　　本文采用电子束沉积制备YBCO超导薄膜,研究了不同预处理气氛对YBCO薄膜双轴织构、表面形貌及超导性能的影响.超导临界电流密度测试、X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)的结

【出处】

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第十二届全国物理力学学术会议

【发表日期】

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2012年11期

【关键词】

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YBCO 电子束沉积超导薄膜预处理

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　　本文采用电子束沉积制备YBCO超导薄膜,研究了不同预处理气氛对YBCO薄膜双轴织构、表面形貌及超导性能的影响.超导临界电流密度测试、X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)的结果表明,预处理气氛为Ar/O2混合气体时,在退火温度为800℃时,YBCO薄膜具有良好的织构和平整致密的表面形貌,在77 K自场下的临界电流密度(Jc)可达4.2×106/cm2.

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