论文部分内容阅读
在精密工业领域,许多重要零部件往往由深度方向数毫米的高精度多层复杂型面构成,其高精度测量理论、仪器系统和方法研究刚刚起步。文中提出研究基于光学波数扫描干涉,纳米精度测量多层结构器件或零件内部各层自由界面三维轮廓的理论,方法和系统,挑战四维度(光强,x,y,z)的跨尺度、大动态范围测量难的问题。