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VHF SiH4/H2 Plasma Characteristics with Negative Ions
【作 者】
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【机 构】
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Solar Power Department,Mitsubishi Heavy Industries Ltd.,Isahaya,Nagasaki 854-0065,Japan
【出 处】
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The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
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2011年期
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