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光学氢敏感WO3纳米薄膜的制备、光学性质及纳米结构研究

来源 :2006年全国功能材料学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：leoncici617
【摘 要】
：
在气敏传感器领域纳米光学气敏传感器是一个倍受关注的分支,纳米WO3薄膜由于具备气致变色效应,可作为一种性能良好的光学氢敏感薄膜材料.本文采用直流磁控溅射法制备WO3薄膜,
【作 者】
：
杨晓红 王新强 马勇 
【机 构】
：
重庆大学,数理学院,重庆,400044
【出 处】
：
2006年全国功能材料学术年会
【发表日期】
：
2006年期
【关键词】
：
光学性质 氢敏感 纳米光学 膜的制备 纳米薄膜 气敏传感器 直流磁控溅射 气致变色效应 光学性能 退火处理 颗粒尺寸 晶体结构 薄膜材料 氧分压 透光率 法制 
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在气敏传感器领域纳米光学气敏传感器是一个倍受关注的分支,纳米WO3薄膜由于具备气致变色效应,可作为一种性能良好的光学氢敏感薄膜材料.本文采用直流磁控溅射法制备WO3薄膜,对不同氧分压及退火处理对薄膜透光率的影响进行了分析,并采用XRD对WO3薄膜的晶体结构和颗粒尺寸进行了研究,得到了光学性能良好的WO3纳米薄膜.
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