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为实现并联微动机器人微米／钠米级精度的定位和操作，需要能够准确确定平台的空间位姿和驱动位移。传统的运动学理论，由于无法考虑机构弹性变形的影响，使得计算结果与实际情况存在一定的差距。该文利用三维有限元技术，采用与实际加载情况一致的边界条件，对以柔软铰作为传动副的PSS型微动平台样机进行运动学正、逆解的分析、并以一个任选的空间姿为算例，将有限元的计算与传统理论的分析结果进行了比较。发现柔性铰横向弹性变形是导致二者差别的直接原因。