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本文提出一种RFMEMS欧姆串联开关的结构，并对其等效电路模型进行研究。等效电路模型的ADS仿真结果与实际开关结构的HFSS仿真结果进行比较，二者吻合较好，证明等效电路模型的有效性。该等效电路模型可用于相关RFMEMS开关电路的设计。另外，所设计的RFMEMS欧姆串联开关的工作频率范围为0-30GHz,隔离均在20dB以上，具有良好的特性。