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在微波ECR设备中，利用能量分析器进行了对非晶碳氢膜刻蚀过程中离子能量的测量，对比根据在线椭偏仪所测的刻蚀率，我们得到离子能量分布及离子流密度对非晶碳氢膜刻蚀过程的影响关系。
非晶碳氢膜刻蚀率与离子能量分布函数关系的研究
【摘 要】
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在微波ECR设备中，利用能量分析器进行了对非晶碳氢膜刻蚀过程中离子能量的测量，对比根据在线椭偏仪所测的刻蚀率，我们得到离子能量分布及离子流密度对非晶碳氢膜刻蚀过程的影响
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024
【出 处】
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2009年全国微波毫米波会议
【发表日期】
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2009年期
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