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＃+[29]Ｓｉ注入ＧａＡｓ晶片的Ｆｅ杂质沾污及其影响
【机 构】
：
南昌大学应用物理研究所
【出 处】
：
中国有色金属学会1993年砷化镓及有关化合物会议
【发表日期】
：
1993年期
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