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自８０年代以来，国际上相继出现了以ＳＨＲＩＭＰ，ＩＳＯＬＡＢ １２０及ＩＭＡ１２７０为代表的新一代高性能二次离子质谱，它们同时具有高灵敏度和高分辨率的优异性能，从而对现代地球和空间科学发展产生了重大影响。并状概述在地质学代学，宇宙年代学，同位素地球化学以及环境科学中微区分析已取得的进展及展望在下一世纪的发展。