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采用化学溶液沉积法在掺F的SnO2玻璃基板上制备了B位Mn单掺和Mn-Co共掺杂BiFeO3/CoFe2O4复合薄膜,研究了Mn-Co共掺杂对复合薄膜的晶体结构、铁电、铁磁以及元素化学价态的影响.结果表明:通过XRD精修拟合发现在B位引入Mn能诱导BiFeO3薄膜由菱方相向四方相转变,而且Mn-Co共掺杂会进一步增加四方相的含量.纯相BiFeO3/CoFe2O4薄膜只能得到电流泄露严重的环状电滞回线,随着Mn掺入泄露电流得到有效抑制,进一步Mn-Co共掺杂能获得更加优异的铁电性能.