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空间环境地面模拟试验是航天器及其组件地面试验中的重要程序之一。为了避免外来污染源、提高试验的可靠性和真实性，分析空间环境模拟设备内部自身的清洁程度，通过测量分析残余气体的质和量，进而分析出污染来源，对症解决降低污染影响。本文概述了残余气体分析与测量的原理和方法，通过实例重点介绍了利用残余气体分析和测量在空间环境模拟试验设备研制及试验过程中的应用，总结出有效的应对控制方法。