【摘 要】
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传统涡旋真空泵清洁度高、运行平稳、结构简单、可靠性高、抽气性能好、节省能源、维护方便等优点，因此被广泛应用于半导体行业、制药化工行业、科学仪器等领域。目前普遍采用的提高抽气性能有这几种方法：提高转速、改变型线、布置双侧涡盘、增大外形尺寸等。囿于制造工艺及零件可靠性与本身型线特点，这些措施并不能满足所有情况，尤其是对于大抽速的工艺需求。涡旋真空泵的结构改进对其抽气性能有着显著的影响。本文基于涡旋机械
【机 构】
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东北大学 机械工程与自动化学院 真空与流体工程研究所,辽宁沈阳,110819
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传统涡旋真空泵清洁度高、运行平稳、结构简单、可靠性高、抽气性能好、节省能源、维护方便等优点，因此被广泛应用于半导体行业、制药化工行业、科学仪器等领域。目前普遍采用的提高抽气性能有这几种方法：提高转速、改变型线、布置双侧涡盘、增大外形尺寸等。囿于制造工艺及零件可靠性与本身型线特点，这些措施并不能满足所有情况，尤其是对于大抽速的工艺需求。涡旋真空泵的结构改进对其抽气性能有着显著的影响。本文基于涡旋机械工作原理，提出了一种多腔式涡旋干式真空泵，详细研究了其抽气过程和优化结构设计，并通过理论推导，给出了它的几何抽速、压缩比等性能参数的计算方法。通过建模计算，对其几何性能参数(比如抽速与压缩比)进行了预测，并与有限元分析软件的模拟结果进行了对比。在相同尺寸下，比较了设计模型与传统涡旋干式真空泵的性能。理论证明，在相同外接圆尺寸下，四腔涡旋泵比传统涡旋泵抽速提高近一倍，压缩比也有了明显提升，功率消耗随着抽速、压缩比的增大而升高，但是排气效率比传动模型提高了20％以上，气流脉动引起的振动和噪声都有明显的抑制。
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