【摘 要】
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报道了一种中心频率为2GHz的电感电容(LC)压控振荡器,其谐振回路由微机械可变电容和键合线电感构成，微机械可变电容采用与集成电路兼容的表面微机械工艺制造,在2GHz时其Q值约
【机 构】
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河北工业大学信息工程学院,天津,300130;中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051河北工业大学信息工程学院,天津,300130
【出 处】
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2006航空宇航科学与技术全国博士生学术论坛
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报道了一种中心频率为2GHz的电感电容(LC)压控振荡器,其谐振回路由微机械可变电容和键合线电感构成，微机械可变电容采用与集成电路兼容的表面微机械工艺制造,在2GHz时其Q值约为32.6,当调节电压从0V增大到12V时,电容量变化范围为25％.通过键合技术将微机械可变电容与有源电路集成在一起,制备了MEMS VCO器件,测试结果表明,载波频率为2.004GHz时,VCO的单边带相位噪声为-103.5dBc/Hz@100kHz,输出功率为12.51 dBm,调频范围约为4.8％。
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