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化合物半导体探测器的发展、现状及其应用
【机 构】
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中国原子能科学研究院
【出 处】
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第七届全国核电子学与核探测技术学术年会
【发表日期】
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1994年期
其他文献
该文简单介绍了一种新型非制冷红外探测器的工作原理。并描述了其它工艺过程及其关键工艺－－硅／硅直接键合技术。