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一种新型红外探测器的关键工艺研究
一种新型红外探测器的关键工艺研究
来源 :第五届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caiwei39602250
【摘 要】
:
该文简单介绍了一种新型非制冷红外探测器的工作原理。并描述了其它工艺过程及其关键工艺--硅/硅直接键合技术。
【作 者】
:
袁景
茅盘松
【机 构】
:
大学电子工程系(江苏南京)
【出 处】
:
第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
红外探测器
直接键合技术
关键工艺
工作原理
工艺过程
非制冷
描述
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该文简单介绍了一种新型非制冷红外探测器的工作原理。并描述了其它工艺过程及其关键工艺--硅/硅直接键合技术。
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