【摘 要】
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结合等离子体增强化学气相沉积及卷绕设备连续高速传动优点,研发一种在柔性材料表面沉积纳米无机氧化硅高阻隔薄膜,达到有效阻隔氧气、水蒸气的真空镀膜设备.镀膜设备的
【机 构】
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肇庆市振华真空机械有限公司,广东肇庆,526020
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结合等离子体增强化学气相沉积及卷绕设备连续高速传动优点,研发一种在柔性材料表面沉积纳米无机氧化硅高阻隔薄膜,达到有效阻隔氧气、水蒸气的真空镀膜设备.镀膜设备的整体加工,保证卷绕系统各传动辊的平行度和精度,满足多辊传动后薄膜的表面平整性.液体质量流量计和中频电源的使用,确保放电稳定,实现放电区气氛均匀,膜表面光洁,氧化硅膜膜厚一致；采用矩阵型多电极辊多区域放电形式,提高薄膜沉积速率,实现高速镀膜.实测结果表明,在100 m/min 的传动速度下,所沉积的阻隔薄膜阻隔性能能够达到：氧气透过率为1.47 cc/m2·day,水蒸汽透过率为1.37g/m2·day.薄膜的透明度透明度大于87％,满足常规食品包装的要求.
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