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该文利用威布尔分布和串联模型、结合电场和温度加速因子的概念来处理ＭＯＳ电容样品的加速寿命试验数据，取得较好的效果。据此可预计栅氧在一定工作条件下的有关可靠性参数。
一种预计栅氧可靠性的方法
【摘 要】
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该文利用威布尔分布和串联模型、结合电场和温度加速因子的概念来处理ＭＯＳ电容样品的加速寿命试验数据，取得较好的效果。据此可预计栅氧在一定工作条件下的有关可靠性参数。
【机 构】
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电子科技大学
【出 处】
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第七届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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1997年期
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