宽禁带半导体碳化硅单晶产业化进展

来源 :2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:supercow
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本研究组自1999年起一直致力于SiC晶体生长和加工技术的研究,在该研究领域己有十多年的积累,并率先在国内开展产业化工作,于2006年8月成立了国内第一家,也是目前国内规模最大的专业从事宽禁带半导体碳化硅研发、生产、销售的高科技企业—北京天科合达蓝光半导体有限公司。近年来,本研究组在SiC晶体生长和加工技术方面取得了一系列的进展产品己成功出口至欧美、日本、韩国和台湾等二十多个国家和地区。此外,本研究组与国内相关单位开展密切合作,对sic晶片进行了外延、器件性能验证。
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