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本文介绍了X—射线衍射非对称摇摆曲线技术,该技术是测定薄膜在生长平面内的晶格常数的有效方法.作为一个例子,我们用X—射线衍射非对称摇摆曲线技术研究了激光分子束外延生长的钙钛矿氧化物BaTiO<,3>薄膜的晶体结构.
X—射线衍射非对称摇摆曲线法测定薄膜的晶格常数
【摘 要】
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本文介绍了X—射线衍射非对称摇摆曲线技术,该技术是测定薄膜在生长平面内的晶格常数的有效方法.作为一个例子,我们用X—射线衍射非对称摇摆曲线技术研究了激光分子束外延生
【机 构】
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中国科学院物理研究所光物理实验室
【出 处】
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2002年全国电子测控工程学术年会
【发表日期】
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2002年期
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