X射线荧光光谱测定金属镀层厚度不确定度的评定

来源 :全国冶金物理测试信息网X光衍射X光荧光技术委员会第十届学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jijianbing520
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本文对X射线荧光光谱测定金属镀层厚度有关不确定度的来源、计算方法和评定等作了较详细的研究。FP-MIJTIL分析软件利用基体元素初级荧光辐射对金属度层中特定元素的二次荧光辐射强度增强的特点,基于基本参数法,采取多次迭代的数学运算来计算金属镀层的厚度。方法研究了整个分析过程对分析结果产生不确定度各种因素的来源及对总不确定度贡献大小的评估,研究发现,标准工作曲线校准产生的不确定度是总不确定度的主要来源,并且对分析结果总不确定度的贡献最大。由于分析结果准确性的传统评定方法大多是重复多次测定样品,计算分析结果的实验标准偏差或统计标准偏差,用相对标准偏差和精密度来评定,往往忽略了影响实验结果准确性的主要不确定度因素,必然导致总不确定度的减小,从而严重影响金属镀层材料生产过程控制和品质控制的质量。
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