【摘 要】
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Fe-Ni等合金薄膜是冶金、磁性薄膜存储器件领域中应用非常广泛的材料,其化学组成的变化对其性能有重要影响.通过比较3种不同来源的相对灵敏度因子(即仪器软件自带的Ssw、由纯
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京 100013
【出 处】
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第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会
论文部分内容阅读
Fe-Ni等合金薄膜是冶金、磁性薄膜存储器件领域中应用非常广泛的材料,其化学组成的变化对其性能有重要影响.通过比较3种不同来源的相对灵敏度因子(即仪器软件自带的Ssw、由纯Fe和纯Ni薄膜测得的Spm，和由Fe-Ni合金薄膜标准物质测得的Sref对测量结果产生的影响，可以看出:采用不同的相对灵敏度因子，得到的合金薄膜组成明显不同。研究得出：利用与测试样品具有相似组成的Fe-Ni合金薄膜标准物质测得的相对灵敏度因子来计算测试样品的元素组成时，得到的测量结果更加准确、有效，它使得表面分析准确定量成为现实。
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