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本文提出了一种新的数字加速度传感器,它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件,利用混频器作为片内信号处理单元,该传感器具有准数字输出、灵敏度高、温度系数低以及制作工艺简单等特点.本文分析了环形振荡器的频率特性,以及环形振荡器谐振频率和加速度的关系,分析并设计了加速度传感器的电路及物理结构,最后给出了试验结果.