【摘 要】
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真空标准漏孔(以下简称“标准漏孔”)在氦质谱真空检漏中起着至关重要的作用。文章对渗氦型标准漏孔使用中的几个问题进行试验性研究。正确的标准漏孔保存可以减小其使用
【机 构】
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北京卫星环境工程研究所, 北京100029
【出 处】
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2011北京真空学会真空学术交流会
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真空标准漏孔(以下简称“标准漏孔”)在氦质谱真空检漏中起着至关重要的作用。文章对渗氦型标准漏孔使用中的几个问题进行试验性研究。正确的标准漏孔保存可以减小其使用时的标定时间；辅助抽气系统可将标准漏孔出口端的高浓度氦气抽除至检漏系统外，极大的减小了标定时间，并使标定曲线接近理论曲线；用多漏孔校准一拟合法计算试件漏率可提高测试漏率的准确性和可靠性。
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