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小型空间环模设备真空系统组成简单，工作流程相对大中型环模设备更容易实现使用的自动化控制。本文介绍了近年在我所小型环模设备上实施的真空系统自动流程控制，并介绍了应用于小型空间环模设备的实例。
小型环模设备真空系统的自动化控制
【摘 要】
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小型空间环模设备真空系统组成简单，工作流程相对大中型环模设备更容易实现使用的自动化控制。本文介绍了近年在我所小型环模设备上实施的真空系统自动流程控制，并介绍了应
【机 构】
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北京卫星环境工程研究所,北京100094
【出 处】
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2011北京真空学会真空学术交流会
【发表日期】
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2011年期
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