【摘 要】
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目前制备二代高温超导薄膜带材的方法有PLD、共蒸发、MOD与MOCVD等,但MOCVD制备方法具有生长速度快、沉积面积大等优点,从而使其更适合产业化的生产。直接影响MOCVD方法
【机 构】
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苏州新材料研究所,苏州215125
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目前制备二代高温超导薄膜带材的方法有PLD、共蒸发、MOD与MOCVD等,但MOCVD制备方法具有生长速度快、沉积面积大等优点,从而使其更适合产业化的生产。直接影响MOCVD方法制备超导薄膜电流高低的因素很多,其中一个重要的因素为衬底的加热温度。本文使用卷对卷MOCVD走带系统制备单层高温超导薄膜带材(Gd,Y) BCO,并通过XRD、SEM与四探针低温测量系统等测试了(Gd,Y) BCO超导薄膜的膜厚、物相结构、表面形貌与零场77K的电学性质。系统的研究衬底的加热温度对超导带材薄膜物相结构、表面形貌与超导电流的影响,加热温度较高时生长的薄膜结晶好、半高宽小,薄膜表面平整、无杂相,超导薄膜电流较高。
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