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使用共蒸发法制备的CdZnTe 薄膜,使用不同温度的硝酸冰乙酸的混合溶液进行不同时间的腐蚀,通过腐蚀前后薄膜厚度的测定,得出硝酸冰乙酸混合液对CdZnTe 薄膜的腐蚀速率.通过SEM 观测,腐蚀过后的CdZnTe 薄膜晶界变宽;XRD 测试发现,腐蚀过后薄膜表面生成了一层富Te 层,有利于实现CdZnTe 与金属背电极之间的欧姆接触.