【摘 要】
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本文介绍由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca、He离子的研究及其分别注入钛膜与纳米膜的微结构分析.Ca注入Ti膜样品的XPX分析表明:在1×10注入剂量下,Ca的含量达33﹪,且钛表
【出 处】
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'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议
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本文介绍由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca<+>、He<+>离子的研究及其分别注入钛膜与纳米膜的微结构分析.Ca<+>注入Ti膜样品的XPX分析表明:在1×10<18>注入剂量下,Ca的含量达33﹪,且钛表面主要形成CaTiO<,3>、CaO和TiO<,2>,表明注入Ca是以化学结合的方式与钛基体连接:He<+>注入纳米钛样品的XRD的衍射谱在15～40°范围内明显分裂及变得较为尖锐,由谢乐方式计算出XTA405-4的纳米膜的平均晶粒粒度由注入前的70nm增大为190nm.表面纳米膜内层晶粒度确有一定长大,AFM在微米视场下观察到纳米钛膜的表层粒子粒度有所长大,但在纳米视场却观察到大量的亚结构,表明在高剂量注入下存在纳米钛膜表层粒子同时又被碎化成微晶的重要现象.
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