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磁控溅射法制备AZO/Ag/AZO多层透明导电薄膜

来源 :2015广东材料发展论坛——新材料与先进制造大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shanyuqi0513

【作 者】

：

颜庚骅 洪瑞江 

【机 构】

：

中山大学太阳能系统研究所,广东省光伏技术重点实验室,广东广州510006

【出 处】

：

2015广东材料发展论坛——新材料与先进制造大会

【发表日期】

：

2015年期

【关键词】

：

磁控溅射 法制备 AZO 多层 

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