【摘 要】
：
通过等离子增强化学气相沉积法,以氨气和硅烷为反应气体在p型单晶硅衬底上制备了非化学计量比氮化硅(SiNx)薄膜,再经过高温退火处理获得了尺寸均匀的硅纳米粒子。室温下
【出 处】
：
2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
论文部分内容阅读
通过等离子增强化学气相沉积法,以氨气和硅烷为反应气体在p型单晶硅衬底上制备了非化学计量比氮化硅(SiNx)薄膜,再经过高温退火处理获得了尺寸均匀的硅纳米粒子。室温下测试了含硅纳米粒子SiNx薄膜的喇曼(Raman)光谱、光致发光(PL)光谱及红外吸收(FTIR)光谱,对薄膜材料的结构特性、发光特性及化学组成特性进行了分析。在波长为325 nm的光激发下,500～800℃退火范围内观察到SiNx薄膜的主要发光峰位于590 nm,且650℃退火处理时发光峰强度达到最大值。光谱分析表明,均匀尺寸的硅纳米粒子在刚沉积的薄膜中已经形成,薄膜的光致发光来源于硅纳米粒子的量子限制效应而非相关缺陷态,500～800℃退火处理未明显改变纳米粒子尺寸分布,且650℃为最佳退火温度。
其他文献
编辑同志:你们好!贵刊记名人不同的传略,包容万象:或热血英雄,驰骋疆场;或科技杰人,图强创新;或文墨画苑,书史留珍……浏览贵刊精彩处,真个如醍醐灌顶,
Edit comrades: Hell
在现有工艺条件下通过简单工艺实现大功率GaN基多量子阱ODRLED的研制,并对试制LED样品进行了光学、电学和色参数三个方面性能测试.测试结果发现,ODR外延片比普通外延片的
20世纪,一些天才女性为人类贡献了厚重的精神财富:珍·古道尔(Jane Goodall,1934-),杰出的动物行为学家,26岁开始,独自在非洲原始森林研究黑猩猩,改写了动物行为的研究史。她
利用水热法制备ZnS纳米结构,通过XRD,SEM,PL对ZnS的结构及其物性进行了研究,同时讨论了退火对样品性能的影响。通过光谱分析发现,在400～650nm附近有525nm左右的绿光发射峰
2012年的个人飞机每年,美国人单单投入在交通上的就有780亿美元。同时,“友好的天空”看起来也不再友好。商业航班太拥挤以至于国家宇航局已经在运用小型地区机场进行点对点
纳米金催化剂具有高催化性和选择性，作为新型催化材料引起关注。特别是其良好的低温催化活性，作为催化电极广泛应用在电化学气体传感器中。由于电化学气体传感器特殊的结构
采用射频磁控溅射技术把ZnO薄膜沉积在p-Si(111)基片上形成异质结.为了研究异质结的光学、电学性质，通过对Si基片制绒或增镀SiO2缓冲层制备了不同样品.X射线衍射表明所有
高线性度微机械陀螺的动态特性是高性能高精度陀螺研究的一个重要方面。介于微结构涉及微观干扰力的作用机理及行程效应、各种阻尼力及电场力的作用因素、微机械陀螺各转
利用ANSYS有限元分析软件建立纳米涂层的两种典型断裂二维理论模型，该模型具有缺陷及裂纹，并基于此模型计算裂纹在受到不同方向荷载下，发生的形变及等效应力分布，并计算出应
本文以实例介绍QUICK BASIC语言支持下配对Logistic回归分析程序的应用及其特点,并对资料的设计要点、收集与编制供电子计算机分析用的资料整理表提出了要求。讨论,并提出了