128×1非制冷微测辐射热计红外探测器列阵研制

• 作 者: 陈永平 梁平治 张学敏 刘强 陈世军 江美玲
• 机 构: 上海技术物理研究所(上海)
• 出 处: 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
• 发表日期: 2003年10期
• 关键词: 微测辐射热计 红外探测器 氧化钒薄膜 微机械加工工艺

采用氧化钒(VO<,x>)薄膜和表面微机械加工工艺,研制了微桥结构的128线阵微测辐射热计红外探测器.通过采用PECVD复合介质膜,探测器微桥的平整度得到极大改善.在室温条件下测试了探测器的红外响应特性,分析了器件的响应率与响应时间.通过MOS移位寄存器读出电路实现了128线阵探测器的信平面信号读出.在8~15μm波段,列阵的平均响应率为探测率6.37×10<3>V/W.对进一步提高探测器性能的途径进行了讨论.