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本文报告了用TOF-SIMS 分析研究Al、Cu、Zn、Fe、Cr、Mn、Co、Ni、Mo、In、Pd、Sn 等金属及其氧化物、卤化物、硝酸盐、硫酸盐、硫化物等无机化合物,发现金属、无机化合物的TOF-SIMS 碎片离子的出现模式具有规律性.对于卤化物,正碎片离子与化合物的化学计量相比具有正离子过剩型的构造;负碎片离子与化合物的化学计量相比具有负离子过剩型的构造;在测定的化合物上还观察到了因保管中的空气、水以及碳氢化合物污染等吸附物引起的碎片离子.对其他无机化合物,也有类似的规律.并且这些规律还适用于象8-羟基喹啉铝(AlQ3)那样的有机-金属络合物和象聚二甲基硅氧烷(硅油)那样的无机、有机的中间化合物.这一研究为TOF-SIMS 更适用于环境分析、特别是固体表面的金属及无机化合物分析应用提供了一个依据.