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高fmax异质结双极晶体管研制及应用初探
高fmax异质结双极晶体管研制及应用初探
来源 :第九届全国化合物半导体.微波器件.光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Gaosboy
【摘 要】
:
讨论了异质结双极晶体管器件设计及外延材料的优化,介绍了异质结双极晶体管研制的工艺过程。
【作 者】
:
钱峰
姚晓峨
【机 构】
:
电子器件研究所
【出 处】
:
第九届全国化合物半导体.微波器件.光电器件学术会议
【发表日期】
:
1996年期
【关键词】
:
异质结双极晶体管
外延材料
器件设计
工艺过程
优化
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讨论了异质结双极晶体管器件设计及外延材料的优化,介绍了异质结双极晶体管研制的工艺过程。
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