【摘 要】
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在共轴圆柱对称的射频等离子体放电系统中，采用CH/SiH/Ar混合气体,产生了由反应气体自身生成的尘埃等离子体。观测到反应粒子的气相、液相和固相三者之间的相互转变，成功地形成
【出 处】
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中国核学会核聚变与等离子体应用学术讨论会
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在共轴圆柱对称的射频等离子体放电系统中，采用C<,2>H<,4>/SiH<,4>/Ar混合气体,产生了由反应气体自身生成的尘埃等离子体。观测到反应粒子的气相、液相和固相三者之间的相互转变，成功地形成稳定的二维等离子体晶体。通过控制放电功率和功作气压，观测有一些有趣的颗粒结构及其他物理现象，主要有：１、“尘埃分子”：两颗或多颗尘埃颗粒的聚集体及它们的有序排列。２、少体结构：在尘埃等离子体中可以控制尘埃颗粒的数目由一颗到十几颗。三颗以上尘埃颗粒呈现二维的规则排列，典型的如三角、正方、十字形，五边形和六边形等。３、少体结构和二维等离子体晶体分层共存现象。４、毫米级叉枝状生成物：尘埃颗粒的一种可能的分形生长机制。
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