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该文用蒙特卡罗方法模拟了辉光放电尘埃等离子体的离于输运行为。考虑自洽电场。计算了靶处的离子能量分布和靶附近的离子密度,以及尘粒的密度、电量、直径对它们的影响。结果表明,当尘粒的密度、电量、直径增加时,离子能量向低能部分转移:当尘粒的密度、电量增加时,离子密度减少,但当生粒的直径增大时,靶附近的离子密度却增大。