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对钼螺旋线进行表面机械处理和表面化学处理,将钼螺旋线的表面机械处理光滑,化学处理镀铜,再经过高温结晶处理,使钼铜间的晶格接触紧密,螺旋线的材料表面进行了改性处理,具有钼和铜材料的优点,增加了可靠性.
钼螺旋线的表面微处理技术
【摘 要】
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对钼螺旋线进行表面机械处理和表面化学处理,将钼螺旋线的表面机械处理光滑,化学处理镀铜,再经过高温结晶处理,使钼铜间的晶格接触紧密,螺旋线的材料表面进行了改性处理,具有
【机 构】
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安徽华东光电技术研究所 安徽芜湖241002
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会
【发表日期】
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2013年期
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