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本文综述MPCVD金刚石的应用与展望.结合金刚石的各种优异性能,介绍金刚石在微波真空器件、光学武器、信息技术、生物医学和能源等领域的应用.最后,展望未来的MPCVD金刚石技术的发展.
MPCVD金刚石的应用和展望
【摘 要】
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本文综述MPCVD金刚石的应用与展望.结合金刚石的各种优异性能,介绍金刚石在微波真空器件、光学武器、信息技术、生物医学和能源等领域的应用.最后,展望未来的MPCVD金刚石技术
【机 构】
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北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家实验室,100015
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十九届学术年会
【发表日期】
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2013年期
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