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微束分析在定量分析领域与常规化学分析方法有很大的差异，因此在相应领域的能力验证计划中比对样品均匀性、稳定性方面的要求有一定的特殊性，需要比对样品工作表面在微米尺度上具有较高的均匀性，并在电子束的轰击下保持物理、化学性能稳定。为了研制出适用的比对样品，宝钢研究院分析测试中心作为该领域的能力验证提供者，经过十年的实践尝试了多种样品和不同的样品制备途径，通过总结实际制备和检测中遇到的各种问题，采用自主研制单晶合金作为今后一个时期的主要选材方向。使用高纯度的原材料，通过区域重熔的方法制备单晶合金，使其在微米尺度上具有较高的均匀性，以满足微束分析能力验证对比对样品的要求。经过两轮能力验证的检验，配合专门为其开发的粘结剂和包埋封装工艺，这种方法制备的比对样品，在性能和质量上均得到预期的效果。