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建立了用激光剥蚀-电感耦合等离子体质谱法表征不锈钢薄板横截面成分分布的原位统计分布分析方法.采用Nd:Yag 213 固态激光器与四级杆电感耦合等离子体质谱联用技术对3mm×1300mm的不锈钢热轧板和1mm×1260mm的冷轧板1/4 处分割横截面沿厚度方向进行线扫描剥蚀,采集所产生的数以万计的各分析元素的时间分辨质谱信号,用特定位置的含量线分布图、二维含量等高图将样品横截面的化学成分分布准确、直观地反映出来.利用统计学的方法,通过计算含量中位值、最大偏析度、统计偏析度、含量-频度分布等,对扫描结果进行统计分布解析,为全面评价薄板内部质量,改进工艺条件提供可靠的依据.