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印制板电镀的新发展
【机 构】
:
北京市电镀总厂
【出 处】
:
全国印制电路第四届年会
【发表日期】
:
1992年期
其他文献
电镀技术在超微细加工及微电子机械系统(MEMS)领域有十分重要的应用,该文介绍利用电铸技术,在硅基上用镍材料制作一种新型微型惯性传感器。该器件的总长度2750μm,梁的长度和宽度