利用电铸技术制作新型微型惯性传感器

来源 :中国电子学会电镀专业委员会第七届电镀年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:handy1989
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电镀技术在超微细加工及微电子机械系统(MEMS)领域有十分重要的应用,该文介绍利用电铸技术,在硅基上用镍材料制作一种新型微型惯性传感器。该器件的总长度2750μm,梁的长度和宽度分别为1430μm和25μm,质量块的宽度为400μm,器件电容的固定极和移动极之间的间距为4μm,微模具厚为200μm,质量块形状为“王”字形。电镀液由氨基磺酸镍(350g/L)和硼酸(40g/L)加少量的润湿剂(0.2℅)组成,工作温度为52℃。
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