【摘 要】
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作为电光转换器,硅基片上光源是硅基光电子技术不可缺少的核心功能器件.由于硅是间接带隙半导体,发光效率极低,致使硅基片上光源的研制面临巨大的挑战.铒硅酸盐化合物利用铒离子在1.54&mu,m 处发光的特性、超高的铒离子浓度以及CMOS 工艺兼容等优点,成为近年来实现硅基片上光源的重要途径之一.
【机 构】
:
北京大学,区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室
【出 处】
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2016年全国光机电技术及系统学术会议暨中国光学学会光电技术专委会/中国仪器仪表学会光机电分会会员代表大会
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作为电光转换器,硅基片上光源是硅基光电子技术不可缺少的核心功能器件.由于硅是间接带隙半导体,发光效率极低,致使硅基片上光源的研制面临巨大的挑战.铒硅酸盐化合物利用铒离子在1.54&mu,m 处发光的特性、超高的铒离子浓度以及CMOS 工艺兼容等优点,成为近年来实现硅基片上光源的重要途径之一.
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