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阐述激光捕捉技术（光镊）的基本原理。将几个微米的高强度微粒子（如金刚石、碳化硅等）作为微加工工具，在光镊的驱动下在加工表面产生移动、高速转动及振动，从而完成微米乃至纳米级的加工任务。建立了满足最佳加工条件的实验装置，通过操纵微粒子的运动，实现对硅表面的纳米加工，并通过实验比较，定性分析最佳加工条件（如激光功率和加工基底参数）。