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本文简要介绍了原子力显微镜系统的基本构成，提出液相型原子力显微镜的新方法，阐述了其工作原理，给出包含特殊检测光路的液相探头系统设计，研制完成一种新的液相型原子力显微镜系统。利用此系统在液相环境中进行了金属样品腐蚀过程的实时测试研究，获得不同阶段的样品表面图像，清晰反映了腐蚀过程及腐蚀程度。结果表明，液相原子力显微镜能够避免液体表面张力和液面扰动的影响，稳定性好，分辨率高，样品的大小和重量不受限制，能够在液相环境下实现对样品的实时扫描和现场观测。