基于开环温度控制的N++体模态谐振器极小温漂研究

来源 :2016年上海市研究生学术论坛——电子科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：flexrhythm

【摘要】

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本文介绍了一种均匀加热的微型恒温控制振荡器,伸张模态的谐振器工作于N++[100]晶向的温漂转折点.该谐振器通过在谐振结构锚点的上的多晶硅加热电阻进行加热并将其温度稳定到

【作者】

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张磊游卫龙王小飞李欣昕杨恒杨力建

【机构】

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传感技术国家重点实验室,上海微系统与信息技术研究所,上海,20050

【出处】

：

2016年上海市研究生学术论坛——电子科学与技术

【发表日期】

：

2016年期

【关键词】

：

开环控制温度控制模态谐振器折点均匀加热谐振结构温度系数

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本文介绍了一种均匀加热的微型恒温控制振荡器,伸张模态的谐振器工作于N++[100]晶向的温漂转折点.该谐振器通过在谐振结构锚点的上的多晶硅加热电阻进行加热并将其温度稳定到频率转折点附近,谐振器在该转折点时工作时温度系数接近于零.基于微型恒温结构相邻的测温电阻与开环控制的多项式拟合算法能初步实现25℃到65℃区间谐振器的谐振频率稳定在±0.8ppm以内.

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