无扰原位实时可连续质谱诊断气体放电过程中的瞬态成份

来源 :第九届全国等离子体科学技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woshi8848
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改进色——质联用仪的取样、进样系统、延伸气体放电区至质谱仪取样口处,变间歇式取、进样为无扰、原位、实时、可连续取进样,将仅能检测稳定气体样品的质谱技术拓展到不稳定的瞬态成份——中间体、过滤态成份。
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