【摘 要】
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表面引发聚合反应(surface initiated polymerization,SIP)是一种高效的表面修饰技术,已经被广泛地应用于众多领域,例如:刻蚀,生物传感器和纳米/微米加工,在很大程度上促进了
【机 构】
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州,215123
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表面引发聚合反应(surface initiated polymerization,SIP)是一种高效的表面修饰技术,已经被广泛地应用于众多领域,例如:刻蚀,生物传感器和纳米/微米加工,在很大程度上促进了相关领域的科学进步和技术发展.由于缺乏有效的监测手段,对SIP 进行动力学研究一直是个难点.我们开展了将石英晶体微天平(quartz crystal microbalance,QCM)应用于SIP 监测的工作.通过在QCM 上进行了原位SIP 反应,我们发现了频率的变化值和相应的干膜厚(由椭圆偏振光谱仪测得)之间存在着一系列简单的频率－膜厚(f-T)线性关系[1],这些成为我们进行定量的表面引发聚合反应动力学分析的基础,同时也为实现纳米水平上膜厚控制奠定了基础.
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