【摘 要】
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利用旋转双补偿器技术建立的实时Mueller 矩阵多通道光谱椭偏仪,将通过实时多通道Mueller 矩阵光谱椭偏术在1 秒内得到光子能量范围(1.5-4.0eV)测量材料Mueller 矩阵的16个元
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京,100029
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利用旋转双补偿器技术建立的实时Mueller 矩阵多通道光谱椭偏仪,将通过实时多通道Mueller 矩阵光谱椭偏术在1 秒内得到光子能量范围(1.5-4.0eV)测量材料Mueller 矩阵的16个元素,仪器结构采用光源,起偏器,旋转补偿器,待测样品,旋转补偿器,检偏器,及光谱探测系统.补偿器在不同频率旋转以便获得高谐振频率从而一次性从原始数据中通过傅立叶变换获得所有矩阵元.整个系统将可用来测试利用各向同性,非各向同性材料光学性质在材料薄膜制备过程中的变化,从而了解薄膜生长机制及达到控制薄膜生长过程.
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