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【摘 要】
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本文采用醇基阳极氧化介质成功地在Ti6A14V合金表面制备出大面积Ti-AI-V-0纳米管阵列。通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDXA)对纳米管阵列的表面形貌、微结构和热
【机 构】
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上海交通大学材料科学与工程学院微电子材料与技术研究所,上海200240
【出 处】
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2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会
【发表日期】
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2011年期
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