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氧化物的表面是许多领域诸如腐蚀、催化和摩擦的关键所在,在一些应用比如气敏、薄膜生长等中也有着极其重要的作用[1][2]。表面性质不可避免的与表面原子结构相关,了解表面原子结构可以帮助人们从根本上理解表面性质,并对表面上的物理化学过程进行建模计算。但是,由于表面制备的困难性和实验手段的限制,现今对于氧化物表面原子结构的定量研究还远远不够。随着球差矫正的透射电子显微镜的不断发展,其在表面结构的问题上提供了新的有效手段[3]。